HSQ(DuPont FOx)가 단종되어 대체품을 찾고 계신다면 Medusa 84 SiH(제품 코드 SX AR-N 8400)가 대체합니다. HSQ 기반 negative 전자빔 레지스트로, 화학 조성이 HSQ와 일치하면서 보관 안정성과 사용 편의성을 개선했고 용제로 butyl acetate를 사용합니다. JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 Medusa 84(SX AR-N 8400)를 국내에 공급합니다.
사양은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준의 대표값이며, 상품코드·공정 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 정확한 데이터시트와 SDS는 JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
DuPont의 HSQ 제품(FOX16 등)은 2025년말 생산이 종료되어 단종되었습니다. 대체 공급원 중 일부는 여전히 MIBK(IARC 2B, 발암 가능 물질)에 녹인 HSQ를 제공하지만, Medusa 84 SiH는 HSQ와 동일한 화학 조성을 유지하면서 용제로 butyl acetate를 사용해 작업자 안전성 측면에서 유리하고, 보관·공정 안정성도 개선했습니다. 기존 HSQ 공정에서 전환을 검토하신다면 현재 공정 조건을 알려주시면 JPDREAM이 자료와 함께 적합 여부를 함께 검토해 드립니다.
Medusa 84 SiH (SX AR-N 8400) 제품 상세 보기 →
Medusa 84 SiH는 HSQ와 동일한 화학 조성을 유지하므로 HSQ 공정의 대체로 검토됩니다. 현상액·노광 조건 매칭은 공정에 따라 달라지므로, 현재 공정을 알려주시면 함께 검토해 드립니다.
JPDREAM이 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다. 아래로 문의하시면 견적·납기를 안내해 드립니다.
보관 온도는 8~12°C이며, 냉동 보관 시 수명이 연장됩니다. 판매일로부터 3개월 보증입니다. 정확한 취급 조건은 데이터시트로 안내해 드립니다.
네, JPDREAM에 요청하시면 ALLRESIST 공식 데이터시트와 SDS를 제공해 드립니다.
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