절연 기판 위 전자빔 리소그래피(EBL)의 차징(charging) 방지를 위해 ESpacer 300Z를 사용 중이거나 대체품을 찾고 계신다면 Electra 94(제품 코드 AR-PC 5094)가 대체합니다. polyaniline 유도체 수용성 전도성 보호막으로, CAR을 제외한 거의 모든 e-beam 레지스트 위에 적용 가능해 Medusa 84·CSAR 62 등과 함께 사용합니다. JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다.
사양은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준의 대표값이며, 상품코드·공정 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 정확한 데이터시트와 SDS는 JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
ESpacer 300Z는 냉장 보관이 필요하고 사용기간(shelf life)이 짧은 편입니다. AR-PC 5094(Electra 94)는 보관 안정성·유통기한이 개선되었고, 특정 레지스트에 국한되지 않고 CAR을 제외한 거의 모든 e-beam 레지스트에 범용으로 적용됩니다. 현재 사용 환경을 알려주시면 JPDREAM이 적합 여부를 함께 검토해 드립니다.
Electra 94 (AR-PC 5094) 제품 상세 보기 →
Electra 94(AR-PC 5094)는 CAR을 제외한 거의 모든 e-beam 레지스트에 적용 가능한 전도성 보호막으로 검토됩니다. 사용 레지스트·공정을 알려주시면 함께 검토해 드립니다.
CAR(화학증폭형)을 제외한 거의 모든 e-beam 레지스트에 적용 가능하며, 특히 Medusa 84 SiH·CSAR 62와 함께 사용합니다.
평균 발주 후 2~3주 이내입니다. 일반적으로 재고를 보유하지 않고 주문 공급합니다.
네, JPDREAM에 요청하시면 ALLRESIST 공식 데이터시트와 SDS를 제공해 드립니다.
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