AR-P 3740은 AR-P 3700 시리즈의 고콘트라스트·최고 해상도 positive 포토레지스트로, sub-µm VLSIC 패터닝에 적합합니다. JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다.
| 톤(tone) | Positive |
|---|---|
| 조성 | Cresol novolak + NQD |
| 용제(solvent) | PGMEA |
| 해상도(resolution) | 약 0.4 µm (sub-µm) |
| 막두께(film thickness) | 약 1.4 µm |
| 콘트라스트 | 약 6.0 (고콘트라스트) |
| 적용 | VLSIC, 고해상도 미세 패터닝 |
| 현상액(developer) | AR 300-47 등 |
사양은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준의 대표값이며, 변종·공정 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 정확한 데이터시트와 SDS는 JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
VLSIC, sub-µm 고해상도 미세 패터닝에 사용됩니다.
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평균 발주 후 2~3주 이내입니다. 일반적으로 재고를 보유하지 않고 주문 공급합니다.
네, JPDREAM에 요청하시면 ALLRESIST 공식 데이터시트와 SDS를 제공해 드립니다.